光刻胶涂布

旋涂

胶厚精度≤3%

（适用于平面）

喷涂

胶厚精度≤10%

（适用于平面/凹凸面）

光刻

精度 2um

套准精度：0.15um

显影

精度2um

显影均匀性<5%

蚀刻